XD-1000A特點

   1、多導毛細光學系統和高性能SDD探測器：區別金屬準直，多導毛細管可將光束縮小至10 μm（可選擇的多導毛細管，@ 35 μm、25 μm、15 μm、5 μm FWHM等），同時得到數千倍的強度增益。可測量超微小樣品的同時保證了測試的準確性及穩定性，在測量納米級Au厚度或薄膜層厚度及成分時，滿足微小光斑、短測量時間的同時，達到測量效果。

   2、微米級超小區域：在Elite-X光學系統設計下大大降低檢出限，納米級超薄鍍層均可準確、可靠測試

   3、廣角相機：樣品整體形貌一覽無余，且測試位置一鍵直達

   4、搭配高分辨微區相機：千倍放大精準對焦測試區域，搭配XY微米級移動平臺，三維方向對焦聚焦測試點位，誤差<±2 μm

   5、多重保護系統：V型激光保護，360°探入保護，保護您的樣品不受損害，保證儀器安全可靠的運作

   6、全自動移動平臺：可編程化的操作，針對同一類型樣品，編程測試點位，同一類樣品自動尋路直接測試

   7、人性化的軟件：搭配EFP核心算法軟件，人機交互，智慧操作

   8、可搭配全自動進送樣系統，與您的產線配合

XD-1000A  應用領域